熱式質(zhì)量流量計(jì)主要包括毛細(xì)管熱式插入式熱式以及微電子MEMS熱式盡管結(jié)構(gòu)各異，但核心原理均是通過(guò)傳感器感知?dú)怏w帶走的熱量變化，以此計(jì)算氣體的質(zhì)量流量其中，毛細(xì)管熱式技術(shù)最為成熟，如國(guó)際知名品牌Bronkhorst和Horiba，以及國(guó)內(nèi)的七星華創(chuàng)，都采用此原理，其廣泛的適用性和性價(jià)比使其脫穎而出。